更好的用来抛光硅的粒子 来源： 神秘的地球 时间：2007年12月28日 15:03 一个生产圆形氧化铈纳米粒子的新技术也许会给集成电路工业带来效益，该工业需要用研磨纳米粒子来抛光和打平硅晶圆。这些粒子通常是在点燃后再快速冷却的金属前体雾中形成的。这个过程产生的氧化铈粒子具有不规则的琢面，给硅表面造成划痕。为了制造更圆的氧化铈粒子，Xiangdong Feng和同事在金属雾中添加了钛。钛在结晶的氧化铈粒子外围形成一个熔化的壳，使晶体具有更圆的形状。这样制造的纳米粒子使抛光缺陷降低了80%，同时使氧化硅的消除率增加了50%。 上一篇 下一篇
